本集節目由「 ASML 」贊助播出。
解密全球最大半導體設備商 ASML EUV 極紫外光獨家創新技術，
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＃BePartofProgress ＃Innovation
還記得去年夏天有個新聞是，
路上出現了幾台，價值 ＃台幣三十億 起跳的 ＃白色超長貨櫃車 嗎？
有人說，看到這個標誌的貨車最好閃遠一點，不然一不小心撞到，是絕對賠不起的。
今天就讓我們來聊聊這個神秘貨車背後的故事吧！
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🎥 影片重點節錄 🎥
📍 大約在 1990 年代左右，主流的「 ＃乾式曝光 」微影技術，就已經把光源的波長，從 436 奈米，逐漸縮短到 193 奈米的紫外光。
📍 但如果還想繼續縮短，把更精密的電路放到晶圓上，就會遇到「鏡片」在物理上的極限，這個 193 奈米的關卡，當時大家都認為很難突破。
📍 不過，當時台積電的研發副總經理 ＃林本堅 ，就與荷蘭的 ＃ASML 公司，共同研發出「 ＃浸潤式微影 」技術，把原先 193 奈米設備的鏡頭，浸到水裡。
📍 透過水的折射，巧妙地產生等同於波長 134 奈米的微影效果，成功突破了「 ＃乾式微影 」的極限，讓整個產業的技術又能夠持續演進下去。
📍 這個「浸潤式微影」的技術一直發展下來，最關鍵的突破，就是縮寫是「 ＃EUV 」的「 ＃極紫外光 」技術了。
當年透過水的折射，產生 134 奈米的微影效果，就已經是很了不起的技術成就了，那現在 ASML 精進到甚麼程度的技術了呢？現在就趕快點開下方影片，讓我們一起來看看吧！
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林本堅 asml 在 [新聞] 清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV - 看板Stock 的美食出口停車場
原文標題：
清大半導體學院院長林本堅稱，台積電EUV量產很久了，技術彎道超車Intel
原文連結：
https://www.investor.com.tw/onlineNews/NewsContent.asp?articleNo=14202112270101
發布時間：
2021年12月27日 週一 下午3:21
原文內容：
記者李純君報導】前台積電研發副總，也是清大半導體研究學院院長林本堅，今日回憶，
各國際大廠在先進晶圓代工製程領域，先前的EUV聯盟，台積電沒辦法參加，改用浸潤式
（Immersion）微影技術；而發展至今，台積電已經量產EUV很久了，技術上彎道超車英特
爾。 林本堅今日出席清華大學半導體研究學院揭牌儀式，在受訪時回憶，英特爾2002年
，號召業界成立EUV LCC聯盟，包括摩托羅拉、AMD等大廠都在裡面，當時目標包括，開發
出的設備能夠優先被使用到40奈米與60奈米，這個聯盟當初設定為六家廠商，最後一個名
額被IBM搶走了。
他進一步提到，當時因為名額滿了，台積電不能參加EUV LCC聯盟，就自己想辦法，在先
進製程的開發上，先採Immersion技術，也因此，台積電其實直到近年的5奈米，才採用
EUV機台設備。
但以結果論來看，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾之外，其他5家並沒有再持
續了，而且現階段，台積電以EUV設備為主的5奈米製程已經量產很久了，領先全球半導體
廠商，但英特爾卻尚未進入EUV量產，此外，英特爾率先成立的EUV LCC聯盟，除了英特爾
之外，其他5家並沒有再持續了，以結果來看，台積電反而是領先的。
林本堅也補充，從採用微影技術，讓製程推進、晶片縮小觀點，半導體應用範圍越來越廣
，量也很大，實際上，要如何以最低的成本達到最高的效果，才是挑戰。他更提到，不一
定從EUV技術去做製程微縮著手，因為用EUV的成本很貴，划不來，但也不代表半導體技術
不需要微影，思考重點是，若有別的辦法縮小尺寸且更能降低成本，就用別的辦法。
心得/評論：
看起來林本堅大老 還是很不看好EUV
但是 GG目前也是用EUV來做
難道gg又可以開大 用duv去做?
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p幣永恆好
只是沒多少
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